光学影像测量仪是建立在CCD数位影像的基础上，依托于计算机屏幕测量技术和空间几何运算的强大软件能力而产生的。通过捕捉工件表面影像的边缘，进行图像处理，获得影像几何要素的数据。
光学影像测量仪校准过程：
1、多点测量的探测误差
将标准图形板安置在水平工作台上，采用轮廓光照明。镜头选择放大倍数，以保证测量只能通过多个局部圆弧（规定采用15个局部圆弧）测量计算圆参数。以自动捕捉边缘点的方式获得测量结果，取10次测量圆的状误差值。
2、成像歧变的探测误差
将标准图形板安置在水平工作台上，采用轮廓光照明。光学影像测量仪的镜头选择大、小和中间放大倍数，选择合适的标准圆，使圆的像占视场的2/9，在9个位置测量圆的中心坐标，以单轴坐标变化的数值作为测量结果。
3、照明影响的探测误差
将标准图形板安置在水平工作台上，采用轮廓光照明。镜头选择大，小和中间放大倍数选择合适的标准圆，使圆的成像占视场的2/3，使用“整体提取圆"提取出圆的边沿，计算圆直径。
4、二维长度测量示值误差校准
使用玻璃刻线尺，在水平轴向和对角线方向各测量2个位置，再由用户任意选择一个位置，共7个位置进行校准测量。每个位置测量5个长度，每个长度测量3次，记录测量值和标准值的差，得到105个示值误差值。
5、Z轴长度测量示值误差
使用量块竖立在工作台上，利用表面光照明，采用自动聚焦的方式瞄准工作台和量块上表面，测量Z方向量块高度值，与名义值比较，确定光学影像测量仪Z轴长度测量示值误差。
